Materials Science In Semiconductor Processing

Materials Science In Semiconductor Processing

半导体加工中的材料科学

  • 3区 中科院分区
  • Q2 JCR分区

期刊评价

  • 影响因子4.2
  • 研究类文章占比96.22%
  • H-index49
  • Gold OA文章占比5.21%
  • 期刊收录SCIE
  • 是否预警
  • 年发文量635
  • 是否OA未开放

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